Vaakumventiil on võtmeseade vedeliku reguleerimise jaoks vaakumkeskkonnas täpse tihendamise ja ajami juhtimise kaudu. Selle töömehhanismi saab jagada järgmisteks põhimooduliteks:
1. tuuma töömehhanism
Partitsioon
Võttes kasutusele kõik metallide lõõtsa dünaamilise pitseri (traditsioonilise pakkimise asemel), laienevad ja tõmbuvad kokku, kui klapi vars liigub vaakumkambri õhukindluse säilitamiseks, ja lekkekiirus on väiksem kui 1 × 10⁻ · MM/s.
Kui värav on suletud, moodustab see molekulaarse sobivuse peegliga lihvitud klapi istmega (RA vähem või võrdne 0,2 μm) ja teeb koostööd vasesulami tihendusrõngaga, et suurendada kontakti tihendamise efekti.
Drive Control
MANUAL tüüp
Elektriline tüüp
Pneumaatiline tüüp: suruõhk juhib silindri kolvi, reageerimise aeg on<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
Rõhu tasakaal
Klapi korp on varustatud KF16 lisaõhu ekstraheerimise pordiga. Enne avamist ja sulgemist kasutatakse õhuvoolu häirete vältimiseks sõltumatut vaakumpumpa, et tasakaalustada ventiiliõõne ja süsteemi (ΔP ＜ 10Pa) vahel.
2. tüüpiline töörežiim
| Režiim | Tööprotsess | Rakendus |
|---|---|---|
| | Värav vajutab klapi istme täielikult, moodustades kahetiheduse (lõhn + kontaktpind) | Osakeste kiirendi talatoru eraldamine |
| Voolu reguleerimine | Klapiplaadi ava on kontrollitud 10–90%ja lineaarne voolu juhtimine saavutatakse V-kujulise drosselsoone kaudu | Gaasi süstimine vaakumkatte protsessis |
| Kiire lõik | Pneumaatiline ajam käivitab hädaolukorra väljalülitusprotseduuri, reageerimise aeg on väiksem või võrdne 0,3S | Tuuma sulandumisseadme leke hädaolukord |
| Rõhuhooldus | Vaakummõõturiga ühendatud klapi ava on automaatselt täpsustatud, et säilitada komplekt vaakum kraadi (± 0,5Pa) | Kosmosekeskkonna simulatsiooni kamber |
3. Materjali- ja protsessiomadused
Valve keha
Riigi komponendid
Surspinna töötlemine: pinna ioonide pritsimine titaanplaatimine (paksus 2 μm), hõõrdetegur vähenes 0,08 -ni.
4. rakenduse stsenaariumi võrdlus
| Valdkond | Klapi tüüp | Vaakumnõuded | Erivajadused |
|---|---|---|---|
| Pooljuhtide tootmine | Elektriline kõrge vaakumklapp | Vähem või võrdne 1 × 10⁻⁷ PA | Resistentne 150 -kraadise küpsetamise suhtes, osakeste null vabanemine |
| Kosmoselaevade testimine | Pneumaatiline kiire sulgemisventiil | Vähem või võrdne 1 × 10⁻⁵ PA | Vibratsioonikindlus (20-2000Hz) |
| Sünkrotroni kiirgusallikas | Vedelikujahutusega väravaklapp | Vähem või võrdne 1 × 10⁻⁹ PA | Vedela lämmastikujahutusega jope (-196 kraad) |
| Tuuma sulandumisseade | Kiirguskindel eraldusventiil | Vähem või võrdne 1 × 10⁻⁴ PA | Neutron -kiirguskindlus (10⁹ N/cm²) |
5. jõudluspiirangu parameetrid
Temperatuurivahemik: -269 kraad (vedela heeliumi jahutus tüüp) kuni 450 kraadi (kõrge temperatuuriga sulami tüüp)
Läbimõõt vahemik: mikroventiil φ6mm kuni suure vaakumkambri klapi φ1200mm
Eluindeks: lõõtsa tihendi kokkupanek, mis on suurem kui 50 000 ava- ja sulgemistsüklit